6" Wafer 濕製程 相關設備
- 濕製程相關的設備，這台設備有四條線，一共有16-Chamber，分別作蝕刻、顯影、清洗，為了效能和維修方便使用了2組 PLC ，這些製程運用到的元件有伺服馬達、變頻器、比例閥、Load Cell 、流量、壓力、溫度，還有Barcode Reader 和 E84。
- 連線的方式，馬達數量32軸，如果用一般Pulse方式控制，在線路施工上會多很多工時，錯誤率也會很高，所以這次選擇使用 SSC-Net 通訊方式，Inverter使用 Modbus，這台設備的I/O 分布很散所以設計 CC-Link 連線，Load Cell和壓力使用 Analog，溫度是 Modbus，流量監控用 CC-Link，E84用I/O控制。
程式核心，SFC 語法
SFC 的基本架構
SFC的架構是以流程圖的概念去執行的，一個流程圖或是程式必須有啟始(1)Step，有結束(6)的Step，Step內容，流程要移動到下一個Step必須要符合轉移條件(3)，編輯原則是轉移條件只能一個，但是轉移條件程式內容可以串並聯動作需要的接點，Step內容與步階程式編輯相同，Step內容可以作輸出動作、作Count、Timer、set、reset 、四則運算，作比較、可以執行 From / To 的指令
SFC 常用的指令
SFC 流程圖設計
