RECIPE PREDICTION · BEFORE-RUN INFERENCE

AI Recipe 預測模型

Operator 還沒按下 Run 之前 —— 把 Recipe 參數表製程設備 + 感測資料 一起餵給 AI 預測模型, 就能事先看到 膜厚、OK/NG、Risk Score,把試錯成本攔在跑片之前。

公司簡介 · PC Base 軟體開發 · AI Recipe Prediction · AI Recipe 預測模型

01
INPUT · 製程配方

Recipe 參數表

Operator 在 HMI 上設定的製程配方欄位 —— Cycle Count、Pulse Time、Purge Time、Temperature、Pressure、Gas Flow 等,是「預期執行什麼」。

02
CONTEXT · 即時量測

製程設備 + 感測資料

同時讀取設備當下的真實狀態 —— Chamber 壓力、MFC 實際流量、Heater 溫度、Valve 狀態,是「設備現在能不能配合」。

03
INFERENCE · ML.NET / Python

AI 預測模型

本機 ML 模型同時跑兩支推論:膜厚預測模型(回歸)+ 製程異常風險模型(分類),全部本機推論,不依賴雲端。

04
OUTPUT · 預測結果

膜厚 / OK-NG / Risk Score

三項預測一次給齊:預期膜厚(nm)、製程結果分類(OK / NG)、風險分數(0–100)—— 工程師看完才決定要不要按下 Run。

▸ 預測膜厚 52.3 nm ▸ OK / NG 分類 ▸ Risk Score 0–100