CAPABILITIES
技術能力總覽
PC-based Control
以 C# / WinForms 等架構開發設備操作介面,整合權限、告警與操作流程。
Recipe 管理
Recipe 管控、版本與條件鎖定,確保製程參數一致與可追溯。
Alarm / Event Log
Alarm 邏輯、Event / Log 記錄與生產履歷追溯,利於除錯與維護。
設備資料紀錄
Data Logger、生產履歷、稼動率與資料整合,支援改善與追溯。
設備通訊
Modbus RTU / TCP、EtherCAT、OPC UA 整合,MFC / Gauge / Pump / Valve 介接與通訊診斷。
PLC / HMI 應用
Recipe、趨勢曲線、備份、伺服 / 張力 / 位置控制與通訊整合。
RECIPE PREDICTION · BEFORE-RUN INFERENCE
AI Recipe 預測模型
系統可在 Recipe 執行前,將 製程參數、設備狀態與即時感測資料 整合分析, 預先推估 膜厚結果、製程是否穩定,以及 可能發生的異常風險,協助工程師提前修正參數設定。
Recipe 參數表
Operator 在 HMI 上設定的製程配方欄位 —— Cycle Count、Pulse Time、Purge Time、Temperature、Pressure、Gas Flow 等,是「預期執行什麼」。
製程設備 + 感測資料
同時讀取設備當下的真實狀態 —— Chamber 壓力、MFC 實際流量、Heater 溫度、Valve 狀態,是「設備現在能不能配合」。
AI 預測模型
本機 ML 模型同時跑兩支推論:膜厚預測模型(回歸)+ 製程異常風險模型(分類),全部本機推論,不依賴雲端。
膜厚 / OK-NG / Risk Score
三項預測一次給齊:預期膜厚(nm)、製程結果分類(OK / NG)、風險分數(0–100)—— 工程師看完才決定要不要按下 Run。
EQUIPMENT KNOWLEDGE BASE · ON-PREMISE AI
RAG 設備知識庫 AI 助手
整合 設備手冊、Recipe 紀錄、異常履歷、維護紀錄與感測資料,建立 廠內設備知識庫。 系統可部署於廠房內網,資料不需上傳雲端,兼顧使用效率與資料安全。AI 提供建議,工程師簽核後採用,AI 不直接控制設備。
設備資料 / Recipe / 手冊
來自 PLC / OPC UA / Sensor 的設備即時訊號、Recipe 執行紀錄,以及設備原廠手冊與工程師維修紀錄 —— 三種異質資料一起進場。
資料整理與知識庫
把多源資料分流落地:設備訊號進歷史資料庫(CSV / SQLite / SQL Server),手冊與紀錄則切段轉向量、進入 Vector DB 知識庫。
AI 搜尋與分析
本機 LLM(Ollama · Qwen / Llama)跨歷史資料庫與向量知識庫做語意搜尋、異常分析、Recipe 風險評估,全程不出廠房內網。
工程師得到建議
Operator UI 上呈現可採用的建議:Alarm 處理 SOP、Recipe 參數調整、維修步驟、風險警示 —— 工程師簽核後採用,AI 不直接控制設備。
AI 可協助整理設備資料、比對歷史 Alarm、輔助工程師初判問題,但實際維修、改機與控制邏輯仍需由工程師確認。AI 建議需經工程師簽核後採用,不會直接控制設備,也不保證良率。
TOPICS
設備技術專題
以下為騎翼機電實機開發與設備控制的技術專題,涵蓋半導體、濕製程、電源整合、資料庫應用、運動控制與行動應用。
12″ Wafer Robot 應用
機械手臂傳遞 Wafer、設備交握與傳輸流程整合。
濕製程設備控制
6″ Wafer 濕製程相關設備的流程控制與 PLC 程式設計。
KIKUSUI 電源供應器應用
菊水電子電源供應器讀取電壓、電流值並整合控制系統。
設備端 Oracle DB 應用
Barcode 讀取後比對 Recipe,將內容帶入設備參數生產。
直線、圓弧補間 · 繪圖控制
以 G-Code 概念實現直線 / 圓弧補間的路徑與字型描繪控制。
Android 系統手機開發
移動監控、車輛防盜(震動、氣壓)行動端應用開發。