12" Wafer Robot 應用
機械手臂傳遞 Wafer (EFEM)
機械手臂傳遞 Wafer，Load-Port 搭配 OCR 與現場 AVG 車作 E84 的交握
Teach Box 準備工作 -- Home
側面開關切換至 "TP" 位置手動模式，後方按鈕壓至第一段，用力壓下去則是第二段 EMO
確定 Robot 附近沒人在安全狀態下，按下 Teach Box 中上位置紅色 ORG 按鈕，執行原點復歸，等待回原點復歸完成。
在主畫面按下 F3:SPEED 進入速度調整畫面，調整 JOG: 單動運行速度，設定 20% 或是更低，按下 F6 儲存設定
回到主畫面，按下 F6 進入 JOG 畫面，每一軸的控制在 Teach Box 藍色按鈕位置，可以先熟悉一下方向再進行教點
Teach Box Key-In 座標技巧
參考右上方表格"點位範圍"，上 Arm 與 下 Arm 點位區塊 Robot 控制器都已定義好範圍
Load port CST Wafer 位置，只要 Key-In 第一片座標，使用 Jog 移動到第一片位置，確定位置之後輸入再教導畫面，然後把 Jog 速度設定到更低，開始微調，都沒問題後使用 Teach Box Get 和 Put 的功能，作 CST 下、中、上 Wafer 位置的連續取放
共同參數 Stage parameter — Slot 層數 : 這是 CST 層數，通常是 25 層 / Slot Pitch : CST 每一層間隔 / Put、Get Offset : 取放片 Offset 移動量，依照 Wafer 厚度設定
Get wafer code
Put wafer code
Get Ready code
視頻說明連結