12″ Wafer Robot 應用

12" Wafer Robot 應用

機械手臂傳遞Wafer(EFEM )

機械手臂傳遞 Wafer， Load-Port 搭配 OCR 與現場 AVG 車作 E84 的交握

Teach Box 準備工作 -- Home

• 側面開關切換至 ”TP” 位置手動模式，後方按鈕壓至第一段，用力壓下去則是第二段EMO
• 確定 Robot 附近沒人在安全狀態下，按下 Teach Box  中上位置紅色 ORG 按鈕，執行原點復歸，等待回原點復歸完成。
• 在主畫面按下 F3:SPEED 進入速度調整畫面，調整 JOG: 單動運行速度，設定 20% 或是更低，按下 F6 儲存設定
• 回到主畫面，按下 F6 進入 JOG 畫面，每一軸的控制在 Teach Box  藍色按鈕位置，可以先熟悉一下方向再進行教點

Teach Box Key-In 座標技巧

• 參考右上方表格”點位範圍”，上  Arm 與 下 Arm 點位區塊 Robot 控制器都已定義好範圍
• Load port CST Wafer 位置，只要 Key-In 第一片座標，使用 Jog 移動到第一片位置，確定位置之後輸入再教導畫面，然後把 Jog 速度設定到更低，開始微調，都沒問題後使用 Teach Box Get 和 Put 的功能，作 CST 下、中、上  Wafer 位置的連續取放
• 共同參數 Stage parameter
  1. Slot 層數 : 這是 CST 層數，通常是 25 層
  2. Slot Pitch  :　CST 每一層間隔
  3. Put、Get Offset : 取放片 Offset 移動量，依照Wafer厚度設定

Get wafer code

Put wafer code

Get Ready code

視頻說明連結